传统的光刻技术中，镜头与光刻胶之间的介质是空气

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　　8.(单选题)传统的光刻技术中，镜头与光刻胶之间的介质是空气，而浸入式技术是将空气介质换成液体，得到合适波长的光，以提高成像分辨率，以下说法错误的是：

　　A.液体局部温度起伏会引起成像质量恶化

　　B.为了减少液体对光线的吸收，液层厚度不能太大

　　C.以纯水为介质时，可以选取任意波长紫外光为光源

　　D.可以注入高折射率的液体以得到更高频率的光，提高成像分辨率

　　解析

　　第一步，本题考查科技常识并选错误项。

　　第二步，水作溶剂时，最低波长极限是210nm，所以一般吸收都在远紫外区，因此以纯水为介质时，不能够选取任意波长紫外光为光源。C项错误，当选。

　　因此，选择C选项。

　　拓展

　　A项：液体局部温度起伏会引起成像质量恶化这是因为热变形而产生的与电阻应变测量方法相同大小的热诱导测量误差，极大地降低了高精度测量的精度。A项正确。

　　B项：有色溶液对光的吸收程度，与该溶液的浓度、液层的厚度以及入射光的强度等因素有关。如果保持入射光的强度不变，则光吸收程度与溶液的浓度和液层的厚度有关。为了减少液体对光线的吸收，液层厚度不能太大。B项正确。

　　D项：根据浸没式光刻的原理，浸没式光刻技术需要在光刻机投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片上的光刻胶之间充满高折射率的液体。图1为传统光刻和浸没式光刻的对比示意图。投影物镜的数值孔径：NA=nsinθ

　　图1 传统光刻和浸没式光刻示意图

　　其中，n为投影物镜与硅片之间介质的折射率，θ为光线最大入射角。在最大入射角相同的情况下，浸没式光刻系统的数值孔径比传统光刻系统增大了n倍。而从傅里叶光学的角度， 数值孔径扮演着空间频率低通滤波器阈值的角色。注入高折射率的浸没液体可以使更高空间频率的光波入射到光刻胶上，因此成像分辨率得以提高。D项正确。

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（编辑：华图喻老师）