2024-11-18 09:50 事业单位考试 https://hb.huatu.com/ 文章来源:未知
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一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、曝光等工序。( )
A.正确
B.错误
【答案】A
【解析】第一步,本题考查其他(科技)知识。
第二步,光刻是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺。是对半导体晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)进行开孔,以便进行杂质的定域扩散的一种加工技术。光刻流程一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。
因此,本题正确。
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